當(dāng)空氣過濾系統(tǒng)長時間停止后再次使用時，應(yīng)對潔凈室中的空氣過濾器進行全面掃描，并檢查系統(tǒng)的密封性能。如果有泄漏或損壞，應(yīng)立即更換。

　　在日常對潔凈區(qū)域進行潔凈度檢測時，所檢測的數(shù)據(jù)應(yīng)該滿足潔凈廠房的設(shè)計要求，如果達(dá)不到時，應(yīng)立即對空氣過濾器進行掃描以及對系統(tǒng)的密封性能進行檢查。如果空氣過濾器泄漏，應(yīng)該用膠水填充或更換。

      

　　在正常使用情況下，當(dāng)空氣過濾器的很終電阻是初始電阻的2-3倍時，應(yīng)更換空氣過濾器。因為空氣過濾器會對氣流形成阻力，并且空氣過濾器會積聚灰塵，所以阻力會增加。當(dāng)阻力增加到規(guī)定值時，其過濾效率將大大降低，因此需要更換。
　　因為更換末端空氣過濾器的風(fēng)險和間接成本將很高，所以延長空氣過濾器使用壽命的方法是定期更換空氣過濾器。