微電子潔凈室
?在半導(dǎo)體、液晶面板等應(yīng)用微電子技術(shù)的生產(chǎn)中,其生產(chǎn)車間需要提供高潔凈度的空氣,其對(duì)微粒過濾和AMC控制有著非常嚴(yán)格的要求。
???潔凈室潔凈空氣得益于其應(yīng)用的空氣過濾設(shè)備,根據(jù)不同的潔凈室類型,需要考慮使用不同的過濾設(shè)備。作為空氣凈化完整方案的專家,山東達(dá)潔不僅可以提供新風(fēng)空調(diào)箱中的初中效過濾器,也能提供潔凈室天花板上的HEPA/ULPA以及自帶風(fēng)機(jī)的FFU設(shè)備,還能夠提供祛除顆粒物的空氣過濾器和提供控制AMC的化學(xué)過濾器。